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    产品名称:SiCl4 +H2 混合气电加热器
     
    产品用途:
     
        本产品为多晶硅项目专用电加热器,主要用于加热SiCl4 +H2 混合气。现已为国内多晶硅生产厂家批量采用。
     
    产品特点:
     
        性能稳定,安全可靠;能长期在700~900℃高温工况下长期稳定工作,使用寿命超过8000小时。该产品有效解决了多晶硅生产过程SiCl4循环利用的难题,填补了国内空白。
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